绝缘体上硅为平台的氮氧化硅波导及马赫–泽德尔干涉仪结构的研究
Study on Silicon Oxynitride Waveguide and Mach-Zehnder Interferometer Structure on Silicon-on-Insulator Platform
崔 航,孙德贵：长春理工大学理学院，吉林 长春
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