MS  >> Vol. 10 No. 1 (January 2020)

材料科学
Material Sciences
Vol.10 No.1(2020), Paper ID 34052, 12 pages
DOI:10.12677/MS.2020.101009

图案化蓝宝石衬底的制备方法及关键技术分析
Study of the Preparation Methods and Key Techniques of Patterned Sapphire Substrate

赖志远,张江涛,胡中伟:华侨大学制造工程研究院,福建 厦门;
仇凯弘,侯 想:福建中晶科技有限公司,福建 龙岩

版权 © 2017 赖志远, 张江涛, 胡中伟, 仇凯弘, 侯 想。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品;您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。

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赖志远, 仇凯弘, 侯想, 张江涛, 胡中伟. 图案化蓝宝石衬底的制备方法及关键技术分析[J]. 材料科学, 2020, 10(1): 63-74. https://doi.org/10.12677/MS.2020.101009