飞秒激光抛光6H碳化硅硅面实验研究
Experimental Study on 6H Silicon Carbide Silicon-Face Polished by Femtosecond Laser
陈高攀,罗海梅,周 艳,罗桂海,潘国顺：广东省光机电一体化重点实验室，广东 深圳；深圳清华大学研究院，深圳市微纳制造重点实验室，广东 深圳；李俭国,谢小柱：广东工业大学，机电工程学院激光微纳加工研究中心，广东 广州
版权 © 2017 陈高攀, 罗海梅, 周 艳, 罗桂海, 潘国顺, 李俭国, 谢小柱。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。