强化统计分析算法应用:提升晶圆加工铸锭品质管控水平Strengthen Statistical Analysis Algorithm Application: Elevating Wafer Manufacturing Ingot Quality Management Level
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材料科学 Vol.8 No.4, April 18 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2018.84027 被引量
一种应用于光学临近修正过程中的异常图像识别方法Abnormal Image Identification Method Used for Optical Proximity Correction
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图像与信号处理 Vol.8 No.4, October 24 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JISP.2019.84027 被引量
一种基于光学临近修正建模方法的光刻机台匹配方法Litho Tool Matching Method Used for Optical Proximity Correction Modeling Method
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仪器与设备 Vol.7 No.4, November 12 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2019.74028 被引量