微通道板打拿极导电层ALD制备技术研究进展Research Progress of ALD Preparation Technology for Dynode Conductive Layer of Microchannel Plate
姜柱松, 王国政 下载量: 436 浏览量: 792
应用物理 Vol.11 No.1, January 25 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.111004 被引量