电化学刻蚀多孔GaN材料的研究Study on Electrochemical Etching of Porous GaN Materials
张桐鹤, 李 林, 苑汇帛, 曾丽娜, 张 晶, 李再金, 曲 轶, 马晓辉, 刘国军 下载量: 1,079 浏览量: 2,214 国家自然科学基金支持
现代物理 Vol.8 No.6, November 21 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2018.86033 被引量
多晶Si酸制绒刻蚀稳定性的研究Research on Acid Texturing Stability of Multi-Crystalline Wafer
冯宇俊, 梁玉玉, 焦朋府, 张 超, 贾彦科, 王森涛 下载量: 3,135 浏览量: 10,403
光电子 Vol.4 No.1, February 12 2014, PDF, , DOI:10.12677/OE.2014.41001 被引量
掺磷多晶硅的干法刻蚀工艺研究Research on Dry Etching Process of Phosphorus-Doped Polysilicon
刘 瑞, 白 雪, 武晓玮, 葛 欢, 赵万利, 孙俊敏, 李 玲, 吴 昊 下载量: 456 浏览量: 3,116 国家科技经费支持
应用物理 Vol.10 No.12, December 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.1012066 被引量
金属辅助刻蚀制备黑硅形貌及光吸收率的研究Study on Morphology and Light Absorption Rate of Black Silicon Prepared by MetalAssisted Etching
李 旭 下载量: 1,237 浏览量: 3,519
现代物理 Vol.9 No.1, January 8 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2019.91006 被引量
集成电路刻蚀用硅部件加工及最新发展Silicon Parts Used in Ic Etching Manufacture and New Development
库黎明, 朱秦发, 陈海滨, 白杜娟, 肖清华, 闫志瑞 下载量: 592 浏览量: 4,730 国家科技经费支持
材料科学 Vol.10 No.7, July 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.107071 被引量
ZnO/多孔硅复合薄膜的光学性能Optical Properties of ZnO/Ps Composity Films
倪惟一, 端木庆铎 下载量: 801 浏览量: 1,939
应用物理 Vol.10 No.1, December 30 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.101001 被引量
图案化蓝宝石衬底的制备方法及关键技术分析Study of the Preparation Methods and Key Techniques of Patterned Sapphire Substrate
赖志远, 仇凯弘, 侯 想, 张江涛, 胡中伟 下载量: 740 浏览量: 1,984
材料科学 Vol.10 No.1, January 20 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.101009 被引量
全息光栅金属掩模的制备与应用探究Preparation and Application of Holographic Grating Metal Mask
孙德昌, 宋贵才, 黄羽茜 下载量: 765 浏览量: 1,880
现代物理 Vol.10 No.1, December 30 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2020.101001 被引量
纳米压印技术制备硅基有序一维、二维纳米结构Fabrication of Si-Based 1D,2D Ordered Nano Structure by Nanoimprint Lithography
李卫 下载量: 3,878 浏览量: 11,807
现代物理 Vol.1 No.3, November 25 2011, PDF, , DOI:10.12677/mp.2011.13010 被引量
单层胶体晶体及反蛋白质纳米阵列结构的制备研究Recent Application and Fabrication of Monolayer Colloidal Crystals and Their Inverse Nanostructures
魏玉顺, 罗春丽, 闫卫国, 刘姝昱, 赵世锦 下载量: 1,085 浏览量: 4,425 科研立项经费支持
材料科学 Vol.8 No.12, December 29 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2018.812134 被引量