负性黑色光刻胶光刻工艺参数的优化研究Research on Optimization of Photolithography Process Parameters for Negative Black Photoresist
王 岩, 李杰欣, 杨 亮 下载量: 451 浏览量: 1,351 国家自然科学基金支持
材料科学 Vol.12 No.4, April 29 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2022.124032 被引量
关于一款I线光刻胶的实验研究Research on an I-Line Photoresist
袁 燕, 张 倩, 倪 烨, 王 君, 曹 玉, 于海洋, 孟腾飞 下载量: 72 浏览量: 96
仪器与设备 Vol.12 No.1, March 15 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2024.121005 被引量
基于图像的离线的光刻工艺稳定性控制方法Offline Lithography Process Stability Control Method Based on Image
许博闻 下载量: 229 浏览量: 360
图像与信号处理 Vol.12 No.3, July 13 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JISP.2023.123025 被引量
一种基于光学临近修正建模方法的光刻机台匹配方法Litho Tool Matching Method Used for Optical Proximity Correction Modeling Method
柯顺魁 下载量: 767 浏览量: 2,229
仪器与设备 Vol.7 No.4, November 12 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2019.74028 被引量
交叉学科中的光刻工艺实验教学探讨与实践Discussion and Practice on Experimental Teaching of Lithography Technology in Interdiscipline
张正涛, 陈朝会, 何荣祥 下载量: 250 浏览量: 356
教育进展 Vol.12 No.10, October 26 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/AE.2022.1210629 被引量
极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
刘馨泽, 匡尚奇, 刁金玉, 林景全 下载量: 444 浏览量: 1,594 科研立项经费支持
应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
全息光栅金属掩模的制备与应用探究Preparation and Application of Holographic Grating Metal Mask
孙德昌, 宋贵才, 黄羽茜 下载量: 784 浏览量: 1,911
现代物理 Vol.10 No.1, December 30 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2020.101001 被引量
非晶硅薄膜太阳电池生产工艺的优化Optimization of Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells Production Process
王彩娜, 张宁, 于冬安, 邱美艳, 刘自然, 邹贺祥 下载量: 4,683 浏览量: 13,418
应用物理 Vol.1 No.1, April 11 2011, PDF, , DOI:10.12677/app.2011.11004 被引量
一种基于光致变色材料的超分辨加工技术A Super-Resolution Fabrication Technique Based on Photochromic Material
李青格乐, 吕 肃, 吴 晓 下载量: 1,040 浏览量: 2,359
应用物理 Vol.8 No.6, June 7 2018, PDF, , DOI:10.12677/APP.2018.86033 被引量
毛细管放电氩等离子体的电离价研究Study on Ionized Degree of Ar Plasma in Capillary Discharge
张兴强, 王骐 下载量: 3,607 浏览量: 10,143 国家自然科学基金支持
现代物理 Vol.3 No.1, February 21 2013, PDF, , DOI:10.12677/MP.2013.31005 被引量