掺磷多晶硅的干法刻蚀工艺研究Research on Dry Etching Process of Phosphorus-Doped Polysilicon
刘 瑞, 白 雪, 武晓玮, 葛 欢, 赵万利, 孙俊敏, 李 玲, 吴 昊 下载量: 514 浏览量: 3,253 国家科技经费支持
应用物理 Vol.10 No.12, December 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.1012066 被引量
重掺硅单晶中氧含量的测试The Determination of Oxygen in High Doping Silicon Crystal
陈海滨, 库黎明, 王永涛, 刘建涛, 王 磊, 闫志瑞 下载量: 464 浏览量: 2,064
材料科学 Vol.10 No.7, July 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.107073 被引量
改善200 mm晶圆边缘加工产能的工艺研究Process Research to Improve the Edge Pro-cessing Capacity of 200 mm Wafers
安瑞阳, 蔡丽艳, 苏 冰, 郑 宇, 李军营, 郑 捷 下载量: 443 浏览量: 2,745
材料科学 Vol.10 No.9, September 28 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2020.109094 被引量
硅片衬底微粗糙度对外延硅片表面颗粒的影响The Effect of Silicon Wafer Substrate Micro Roughness on the Surface Particles of the Epitaxial Silicon Wafers
赵而敬, 王永涛, 曹 孜, 刘建涛, 张 静, 郑 捷, 蔡丽艳, 钟耕杭, 韩晨华 下载量: 1,667 浏览量: 4,722 国家科技经费支持
材料科学 Vol.8 No.5, May 22 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2018.85061 被引量
游离磨料多线切割单晶硅尾部裂片异常的研究Researches on the Wafer-Break in the Tail Position during the Free Abrasive Wire Saw
苏 冰, 李军营, 安瑞阳, 周迎辉, 史训达 下载量: 744 浏览量: 1,335
材料科学 Vol.9 No.11, November 6 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2019.911119 被引量
多线切割中不同钢丝对硅片表面损伤的研究Study on the Wafer Damaged Surface Layer in Multi-Wire Sawing with Different Kinds of Steel Wires
苏 冰, 安瑞阳, 周迎辉, 李军营, 郑 宇, 史训达, 刘云霞, 刘 卓, 白 雪 下载量: 779 浏览量: 3,569
材料科学 Vol.9 No.11, November 6 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2019.911121 被引量
配电物联网的信息安全方案分析Analysis of Information Security Scheme of Power Distribution Internet of Things
戴 铭, 王 宇, 赵金平 下载量: 706 浏览量: 1,167
智能电网 Vol.10 No.5, October 9 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/SG.2020.105025 被引量
Sn、Cu掺杂的β-Ga2O3能带的理论计算Theoretical Calculation of Energy Band on β-Ga2O3 Doped with Sn and Cu elements
李梦轲, 李 旺, 柳 婕, 刘 阳, 刘 俊, 刘 畅, 刘 源 下载量: 507 浏览量: 1,266 国家自然科学基金支持
应用物理 Vol.11 No.12, December 30 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.1112057 被引量
激光显示技术的研究现状及进展Research Status and Development of Laser Display Technology
秦宪超, 杨云帆, 赵志斌, 徐东昕, 李再金, 曾丽娜, 李 林, 乔忠良, 曲 轶, 刘国军 下载量: 1,087 浏览量: 3,876 国家自然科学基金支持
光电子 Vol.10 No.3, September 11 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/OE.2020.103009 被引量
GaAs薄膜发光改性研究进展Research Progress of Improvement of Emission Properties in GaAs Film
肖 卫, 贾慧民, 唐吉龙, 房 丹, 方 铉, 王新伟, 王登魁, 魏志鹏, 王晓华 下载量: 1,739 浏览量: 3,081 国家自然科学基金支持
材料科学 Vol.8 No.2, February 28 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2018.82011 被引量