极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
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一种新型小型化导航四臂螺旋天线A Novel Miniaturized Navigation Four-Arm Helical Antenna
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电气工程 Vol.11 No.4, December 20 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JEE.2023.114017 被引量