多线切割中不同钢丝对硅片表面损伤的研究
Study on the Wafer Damaged Surface Layer in Multi-Wire Sawing with Different Kinds of Steel Wires
苏 冰, 安瑞阳, 周迎辉, 李军营, 郑 宇, 史训达, 刘云霞, 刘 卓, 白 雪 下载量:
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材料科学
Vol.9 No.11, November 6 2019, PDF,
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DOI:10.12677/MS.2019.911121 被引量