硅片衬底微粗糙度对外延硅片表面颗粒的影响
The Effect of Silicon Wafer Substrate Micro Roughness on the Surface Particles of the Epitaxial Silicon Wafers
赵而敬, 王永涛, 曹 孜, 刘建涛, 张 静, 郑 捷, 蔡丽艳, 钟耕杭, 韩晨华 下载量:
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材料科学
Vol.8 No.5, May 22 2018, PDF,
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DOI:10.12677/MS.2018.85061 被引量