基于图像的离线的光刻工艺稳定性控制方法Offline Lithography Process Stability Control Method Based on Image
许博闻 下载量: 299 浏览量: 460
图像与信号处理 Vol.12 No.3, July 13 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/JISP.2023.123025 被引量
纳米压印技术制备硅基有序一维、二维纳米结构Fabrication of Si-Based 1D,2D Ordered Nano Structure by Nanoimprint Lithography
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现代物理 Vol.1 No.3, November 25 2011, PDF, , DOI:10.12677/mp.2011.13010 被引量
基于钙钛矿光刻胶纳米复合材料的热光刻技术Thermal Lithography Technology Based on Perovskite Photoresist Nanocomposites
平 鹏, 蔚浩义, 姜浩然, 王 祺, 蔡博渊 下载量: 69 浏览量: 136 国家自然科学基金支持
物理化学进展 Vol.13 No.2, May 31 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/japc.2024.132022 被引量
交叉学科中的光刻工艺实验教学探讨与实践Discussion and Practice on Experimental Teaching of Lithography Technology in Interdiscipline
张正涛, 陈朝会, 何荣祥 下载量: 320 浏览量: 454
教育进展 Vol.12 No.10, October 26 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/AE.2022.1210629 被引量
基于热模光刻的灰度曝光优化Optimization of Grayscale Exposure Based on Heat-Mode Lithography
张文雅 下载量: 61 浏览量: 95
建模与仿真 Vol.13 No.3, May 30 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/mos.2024.133274 被引量
极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
刘馨泽, 匡尚奇, 刁金玉, 林景全 下载量: 591 浏览量: 1,818 科研立项经费支持
应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
负性黑色光刻胶光刻工艺参数的优化研究Research on Optimization of Photolithography Process Parameters for Negative Black Photoresist
王 岩, 李杰欣, 杨 亮 下载量: 581 浏览量: 1,569 国家自然科学基金支持
材料科学 Vol.12 No.4, April 29 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2022.124032 被引量
一种基于光致变色材料的超分辨加工技术A Super-Resolution Fabrication Technique Based on Photochromic Material
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应用物理 Vol.8 No.6, June 7 2018, PDF, , DOI:10.12677/APP.2018.86033 被引量
全息光栅金属掩模的制备与应用探究Preparation and Application of Holographic Grating Metal Mask
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现代物理 Vol.10 No.1, December 30 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MP.2020.101001 被引量
EUV掩模白板缺陷的反射近场模拟研究Simulation Research on Reflective Near Field of EUV Mask Blank Defects
白智成 下载量: 29 浏览量: 53
材料科学 Vol.14 No.6, June 30 2024, PDF, , XML DOI:10.12677/ms.2024.146111 被引量