离子减薄仪技术改进及功能开发Technical Improvement and Functional Development of Ion Beam Thinner
焦淑静, 杨 峰, 姜大强, 薛东川 下载量: 1,442 浏览量: 3,497
应用物理 Vol.8 No.5, May 24 2018, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2018.85029 被引量