基于纳米多晶硅薄膜压力传感器胎压监测系统The TPMS Based on the Nano-Polysilicon Thin Film Pressure Sensor
赵小松, 于 洋, 陈 静, 赵晓锋 下载量: 2,930 浏览量: 8,891 国家科技经费支持
传感器技术与应用 Vol.3 No.3, July 14 2015, PDF, , XML DOI:10.12677/JSTA.2015.33007 被引量
基于MEMS技术悬臂梁式脉搏传感器制作与特性研究Fabrication and Characteristics Research of the Cantilever Beam Pulse Sensor Based on MEMS Technology
李森, 陈静, 李丹丹, 赵晓锋 下载量: 2,599 浏览量: 8,693 国家科技经费支持
传感器技术与应用 Vol.4 No.3, July 15 2016, PDF, , XML DOI:10.12677/JSTA.2016.43012 被引量