极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
刘馨泽, 匡尚奇, 刁金玉, 林景全 下载量: 572 浏览量: 1,786 科研立项经费支持
应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
EUV掩模白板缺陷的反射近场模拟研究Simulation Research on Reflective Near Field of EUV Mask Blank Defects
白智成 下载量: 18 浏览量: 29
材料科学 Vol.14 No.6, June 30 2024, PDF, , XML DOI:10.12677/ms.2024.146111 被引量
毛细管放电氩等离子体的电离价研究Study on Ionized Degree of Ar Plasma in Capillary Discharge
张兴强, 王骐 下载量: 3,669 浏览量: 10,461 国家自然科学基金支持
现代物理 Vol.3 No.1, February 21 2013, PDF, , DOI:10.12677/MP.2013.31005 被引量
激光锡等离子体极紫外光谱的优化研究Research on Optimization of Extreme Ultraviolet Spectrum from Laser-Produced Tin Plasma
王海建, 窦银萍, 李镇广, 谢 卓, 宋晓伟, 林景全 下载量: 863 浏览量: 3,907 科研立项经费支持
应用物理 Vol.10 No.1, January 14 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.101008 被引量
基于钙钛矿光刻胶纳米复合材料的热光刻技术Thermal Lithography Technology Based on Perovskite Photoresist Nanocomposites
平 鹏, 蔚浩义, 姜浩然, 王 祺, 蔡博渊 下载量: 59 浏览量: 111 国家自然科学基金支持
物理化学进展 Vol.13 No.2, May 31 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/japc.2024.132022 被引量
激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展 Research Progress of Laser Assisted Discharge Produce Plasma Extreme Ultraviolet Source
吴家志, 谢 卓, 窦银萍, 林景全 下载量: 1,313 浏览量: 2,233
应用物理 Vol.9 No.1, January 7 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2019.91001 被引量
Si/SiO2吸放气率测试及机理分析 Measurement and Analysis of Si/SiO2 Absorption and Outgassing Rate
盛学民, 何 茗 下载量: 250 浏览量: 392
材料科学 Vol.13 No.6, June 19 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2023.136055 被引量
羟基肉桂酸转化为精细化学品的研究进展Research Progress on the Conversion of Hydroxycinnamic Acid into Fine Chemicals
胡 红, 迟宪昊 下载量: 147 浏览量: 232
有机化学研究 Vol.12 No.1, March 29 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/jocr.2024.121009 被引量