光热激励硅微谐振式压力传感器敏感结构热梯度分布研究Research on Thermal Gradient Distribution of Sensitive Structure of Photothermal Excited Silicon Microresonant Pressure Sensor
王海榕, 王亿文, 史慧超 下载量: 211 浏览量: 392
仪器与设备 Vol.11 No.4, December 20 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/IaE.2023.114050 被引量