激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展 Research Progress of Laser Assisted Discharge Produce Plasma Extreme Ultraviolet Source
吴家志, 谢 卓, 窦银萍, 林景全 下载量: 1,342 浏览量: 2,278
应用物理 Vol.9 No.1, January 7 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2019.91001 被引量
极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
刘馨泽, 匡尚奇, 刁金玉, 林景全 下载量: 605 浏览量: 1,838 科研立项经费支持
应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
激光锡等离子体极紫外光谱的优化研究Research on Optimization of Extreme Ultraviolet Spectrum from Laser-Produced Tin Plasma
王海建, 窦银萍, 李镇广, 谢 卓, 宋晓伟, 林景全 下载量: 872 浏览量: 3,927 科研立项经费支持
应用物理 Vol.10 No.1, January 14 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.101008 被引量
EUV掩模白板缺陷的反射近场模拟研究Simulation Research on Reflective Near Field of EUV Mask Blank Defects
白智成 下载量: 39 浏览量: 66
材料科学 Vol.14 No.6, June 30 2024, PDF, , XML DOI:10.12677/ms.2024.146111 被引量
毛细管放电氩等离子体的电离价研究Study on Ionized Degree of Ar Plasma in Capillary Discharge
张兴强, 王骐 下载量: 3,694 浏览量: 10,526 国家自然科学基金支持
现代物理 Vol.3 No.1, February 21 2013, PDF, , DOI:10.12677/MP.2013.31005 被引量
使用十字纳米结构实现表面等离激元定向发射的超快时空控制Ultrafast Spatiotemporal Control of Directional Launching of Surface Plasmon Polaritons Using Cross Nanostructures
邹瑷怿, 季博宇, 林景全 下载量: 161 浏览量: 251 科研立项经费支持
应用物理 Vol.14 No.4, April 9 2024, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/app.2024.144018 被引量
双色涡旋场驱动下高次谐波光子通道特性研究Research on the Characteristics of Photon Channels in High Harmonic Generation Driven by the Two-Color Vortex Field
王 哲, 李 恺, 李梦想, 龙文博 下载量: 57 浏览量: 73 科研立项经费支持
现代物理 Vol.14 No.4, July 18 2024, PDF, , XML DOI:10.12677/mp.2024.144018 被引量
Ga2O3薄膜制备及其日盲紫外光电探测性能的研究进展Research Progress of Preparation and UV Photoelectric Detection Performance of Ga2O3 Thin Films
高 悦, 李思雨, 李亚泽, 张 敏 下载量: 811 浏览量: 3,019 科研立项经费支持
应用物理 Vol.12 No.12, December 22 2022, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2022.1212071 被引量
Si/SiO2吸放气率测试及机理分析 Measurement and Analysis of Si/SiO2 Absorption and Outgassing Rate
盛学民, 何 茗 下载量: 269 浏览量: 421
材料科学 Vol.13 No.6, June 19 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2023.136055 被引量