极紫外光刻掩模缺陷暗场检测系统优化设计Optimization Design of Dark Field Detection System for Mask Defects of Extreme Ultraviolet Lithography
刘馨泽, 匡尚奇, 刁金玉, 林景全 下载量: 569 浏览量: 1,780 科研立项经费支持
应用物理 Vol.11 No.3, March 16 2021, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2021.113017 被引量
毛细管放电氩等离子体的电离价研究Study on Ionized Degree of Ar Plasma in Capillary Discharge
张兴强, 王骐 下载量: 3,667 浏览量: 10,451 国家自然科学基金支持
现代物理 Vol.3 No.1, February 21 2013, PDF, , DOI:10.12677/MP.2013.31005 被引量
激光锡等离子体极紫外光谱的优化研究Research on Optimization of Extreme Ultraviolet Spectrum from Laser-Produced Tin Plasma
王海建, 窦银萍, 李镇广, 谢 卓, 宋晓伟, 林景全 下载量: 858 浏览量: 3,900 科研立项经费支持
应用物理 Vol.10 No.1, January 14 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.101008 被引量
激光辅助放电等离子体极紫外光源研究进展 Research Progress of Laser Assisted Discharge Produce Plasma Extreme Ultraviolet Source
吴家志, 谢 卓, 窦银萍, 林景全 下载量: 1,293 浏览量: 2,208
应用物理 Vol.9 No.1, January 7 2019, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2019.91001 被引量
Si/SiO2吸放气率测试及机理分析 Measurement and Analysis of Si/SiO2 Absorption and Outgassing Rate
盛学民, 何 茗 下载量: 245 浏览量: 385
材料科学 Vol.13 No.6, June 19 2023, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MS.2023.136055 被引量