氧气通量对反应溅射法制备HfO2薄膜生长过程的影响Effect of O2 Flux on the Growth Process of HfO2 Thin Films Deposited by Reactive Sputtering
杨宇桐, 唐武 下载量: 3,256 浏览量: 12,817 国家自然科学基金支持
凝聚态物理学进展 Vol.2 No.1, February 17 2013, PDF, , DOI:10.12677/CMP.2013.21003 被引量