掺磷多晶硅的干法刻蚀工艺研究Research on Dry Etching Process of Phosphorus-Doped Polysilicon
刘 瑞, 白 雪, 武晓玮, 葛 欢, 赵万利, 孙俊敏, 李 玲, 吴 昊 下载量: 535 浏览量: 3,306 国家科技经费支持
应用物理 Vol.10 No.12, December 29 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/APP.2020.1012066 被引量