MS  >> Vol. 13 No. 3 (March 2023)

材料科学
Material Sciences
Vol.13 No.3(2023), Paper ID 63102, 13 pages
DOI:10.12677/MS.2023.133024

Cu、Sn掺杂的沟道型β-Ga2O3半导体薄膜光电器件的制备及特性研究
Preparation and Characterization of Channeled β-Ga2O3 Semiconductor Thin Film Optoelectronic Devices Doped with Cu and Sn Elements

刘 畅,刘 俊,刘 源,胡馨月,李 旺,柳 婕,李梦轲:辽宁师范大学,物理与电子技术学院,辽宁 大连

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刘畅, 刘俊, 刘源, 胡馨月, 李旺, 柳婕, 李梦轲. Cu、Sn掺杂的沟道型β-Ga2O3半导体薄膜光电器件的制备及特性研究[J]. 材料科学, 2023, 13(3): 200-212. https://doi.org/10.12677/MS.2023.133024