MS  >> Vol. 10 No. 7 (July 2020)

材料科学
Material Sciences
Vol.10 No.7(2020), Paper ID 36794, 5 pages
DOI:10.12677/MS.2020.107073

重掺硅单晶中氧含量的测试
The Determination of Oxygen in High Doping Silicon Crystal

陈海滨,库黎明,王永涛,刘建涛,王 磊,闫志瑞:有研半导体材料有限公司,北京

版权 © 2017 陈海滨, 库黎明, 王永涛, 刘建涛, 王 磊, 闫志瑞。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品;您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。

How to Cite this Article


陈海滨, 库黎明, 王永涛, 刘建涛, 王磊, 闫志瑞. 重掺硅单晶中氧含量的测试[J]. 材料科学, 2020, 10(7): 603-607. https://doi.org/10.12677/MS.2020.107073