随机掺杂对超深亚微米SOI MOSFETs阈值电压影响研究
Study on the Influence of Random Doping on the Threshold Voltage of Ultra Deep Submicron SOI MOSFETs
苏亚丽：西安石油大学，机械工程学院，陕西 西安；杨江江：西安交通大学，微电子学院，陕西 西安
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