两种钼靶材溅射钼薄膜的组织性能研究
Study on Microstructure and Properties of Mo Thin Films Sputtered by Two Kinds of Mo Targets
安 耿,孙 军：西安交通大学金属强度国家重点实验室，陕西 西安；刘仁智,李 晶,曹维成：金堆城钼业股份有限公司技术中心，陕西 西安
版权 © 2017 安 耿, 孙 军, 刘仁智, 李 晶, 曹维成。本期刊文章已获得知识共享署名国际组织(Creative Commons Attribution International License)的认证许可。您可以复制、发行、展览、表演、放映、广播或通过信息网络传播本作品；您必须按照作者或者许可人指定的方式对作品进行署名。