飞秒激光抛光6H碳化硅硅面实验研究Experimental Study on 6H Silicon Carbide Silicon-Face Polished by Femtosecond Laser
陈高攀, 李俭国, 罗海梅, 周 艳, 罗桂海, 谢小柱, 潘国顺 下载量: 898 浏览量: 3,210 国家科技经费支持
机械工程与技术 Vol.9 No.2, April 28 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MET.2020.92019 被引量