MEMS行波超声电机模态匹配问题研究Study on the Mode Matching Issue of MEMS Traveling Wave Ultrasonic Motor
冉龙骐, 胡 江, 周 吴 下载量: 679 浏览量: 3,587
机械工程与技术 Vol.9 No.2, April 2 2020, PDF, HTML, XML DOI:10.12677/MET.2020.92010 被引量